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Contraintes mécaniques en micro, nano et optoélectronique

Mireille Mouis

Le traité Electronique, Génie Electrique, Microsystèmes répond au besoin de disposer dun ensemble de connaissances, méthodes et outils nécessaires à la maîtrise de la conception, de la fabrication et de lutilisation des composants, circuits et systèmes utilisant lélectricité, loptique et lélectronique comme support. Conçu et organisé dans un souci de relier étroitement les fondements physiques et les méthodes théoriques au caractère industriel des disciplines traitées, ce traité constitue un état de lart structuré autour des quatre grands domaines suivants

Contraintes mécaniques en micro, nano et optoélectronique La maîtrise des contraintes mécaniques internes constitue un enjeu majeur de la micro-nano-électronique et de l'optoélectronique, tant au niveau des composants actifs (transistors ou lasers par exemple) que des interconnexions. Les procédés de réalisation des composants et des circuits intégrés font appel à des matériaux de plus en plus variés qui génèrent localement des

9.98 MB Taille du fichier
9782746213081 ISBN
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